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在半導體工業,真空設備(蒸發、濺射)、干法雷器(ICP、RIE、ICP、RIE、PECVD)、熱處理設備(合金爐、退火爐)、摻雜設備(離子注入機等)作為半導體技術發展所必需的條件,這些真空設備必將發揮越來越大的作用。氦質譜儀是目前半導體設備泄漏檢測中的常用儀器。諾益科技生產的氦質譜檢漏儀在通訊/電子及半導體行業行業發揮著重要作用。
TO封裝氦檢漏儀應用案例
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