真空箱氦檢和RGA殘余氣體分析（Residual Gas Analysis）是兩種常用的真空系統檢測方法，它們在原理和應用上有一些區別。殘余氣體分析Residual Gas Analysis，簡稱RGA，也稱做內部水汽分析Internal Moisture Analysis ，或者IVA(Internal Vapor Analysis)。
原理：
真空箱氦檢：真空箱氦檢是通過將待檢測物體放置在真空箱中，注入氦氣并進行泄漏檢測。如果存在泄漏，氦氣會從泄漏處逸出，并被氦檢儀器探測到。
真空箱氦檢
RGA：RGA是一種質譜分析技術，通過對真空系統中殘余氣體成分進行分析來獲取相關信息。RGA儀器會將真空系統中的氣體離子化，并根據氣體離子的質量-電荷比進行分析和檢測。
應用：
真空箱氦檢：真空箱氦檢主要用于檢測焊接接頭、密封件等在真空環境下的泄漏情況。它廣泛應用于航空航天、電子器件、光學設備等領域。
RGA：RGA主要用于分析真空系統中的氣體成分，可以檢測和分析氣體的種類、含量以及可能的污染源。它在半導體制造、材料研究、真空設備維護等領域得到廣泛應用。
檢測范圍：
真空箱氦檢：真空箱氦檢主要關注泄漏問題，能夠檢測微小的泄漏缺陷或裂紋。
RGA：RGA可以分析和檢測真空系統中的各種氣體成分，包括常見氣體、水蒸氣、有機物質等。
綜上所述，真空箱氦檢和RGA在原理和應用上存在一些區別。真空箱氦檢主要用于檢測泄漏問題，而RGA則是通過分析真空系統中的氣體成分來獲取相關信息。兩種方法在不同領域具有各自的應用價值。
