錯誤代碼 | 含義 | 原因 | 檢查排除 |
10 | 標漏時重復抽空次數過多 | 1：檢漏口壓力抽不下，檢漏口未接好或者漏孔故障。 2：V2閥沒打開或打開不完全。 | 1：檢查檢漏口大漏，檢測漏孔 2：檢查V2閥 |
16 | 啟動超時 | 分子泵無法正常加電。 | 檢查分子泵 |
20 | 陽極高壓錯誤 | 燈板檢測離子源陽極電壓錯誤 | 檢修陽極供電、離子源電纜、燈絲板 |
21 | 發射電流低 | 燈板檢測離子源發射電流低 | 按停止鍵，重新啟動 |
22 | 發射電流高 | 燈板檢測離子源發射電流高 | 按停止鍵，重新啟動 |
23 | 燈板24V故障 | 燈板24V電壓異常 | 檢修燈板 |
24 | 80V電壓故障 | 燈板80V電壓異常 | 檢修燈板 |
26 | 分子泵未就緒 | 分子泵沒有啟動完成 | 檢查前級真空、分子泵自身判斷 |
27 | 分子泵通訊故障 | 主控板沒有檢測到分子泵通訊 | 檢修通訊線路、主控板 |
36 | 分子泵通訊超時 | 主控板長時間沒有檢測到分子泵通訊 | 檢修通訊線路、主控板 |
36 | 分子泵轉速過低 | 分子泵轉速沒有達到正常工作轉速 | 檢查分子泵電源和連線 |
37 | 分子泵故障 | 分子泵損壞或電源異常 | 檢查分子泵電源和連線 |
38 | 分子泵警告 | 分子泵過熱 | 檢查檢漏口真空度是否過高。 |
39 | 分子泵排氣口壓力高 | 前級泵和真空管路真空異常 | 檢查機械泵是否工作和真空管路 |
40 | 待機時，分子泵排氣口壓力高 | 待機時前級泵和真空管路真空異常 | 檢查機械泵是否工作和真空管路 |
告警代碼 | 含義 | 原因 | 檢查排除 |
1 | 吸槍模式定標時,本底值低 | 定標時采集本底值低 | 吸槍是否有堵 |
2 | 吸槍模式定標時,信號值低 | 環境中氦氣本底太高或者標漏失效及燈絲老化。 | 等待環境中本底下降后再標漏，或告知生產商 |
3 | 吸槍定標異常 | 環境中氦氣本底太高或者標漏失效及燈絲老化。 | 等待環境中本底下降后再標漏，或告知生產商 |
6 | 檢漏時分子泵排氣口異常 | 電磁閥內漏或檢漏口真空度差 | 檢查檢漏口連接真空管路。 |
9 | 大漏保護 | 檢漏口真空度突然變大 | 檢查檢漏口真空管路是否異常 |
10 | 抽空超時 | 檢漏口真空度抽不下來 | 檢查檢漏口真空管路是否封堵 |
11 | 吸槍堵 | 請檢查吸槍過濾器 | 查看檢漏口壓力是否異常 |
12 | 吸槍漏 | 請檢查檢漏口進入檢漏狀態后檢漏口壓力是否>300pa | 查看檢漏口壓力是否異常 |
