背壓氦質譜檢漏法也就是壓氦法檢漏，是一種適用于容積較小被檢件的檢漏方法，例如半導體一類真空密封器件的無損檢漏。它的檢漏過程與其他背壓法一樣包括3個步驟：充壓、凈化、檢漏。
壓氦法檢漏是將壓有一定壓力的示蹤氣體的被檢件放入檢漏夾具中，然后連至檢漏儀將其抽空，示蹤氣體通過漏孔泄漏出來，經檢漏儀檢測總泄漏量。
一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。首先將儀器調整好，再將器件放入加壓罐內壓入氦氣，氦氣進入有漏孔的器件內部，無漏孔的器件只是表面吸咐氦氣。器件加壓壓力和時間根據GB2423，2328文件而定，器件從加壓罐中取出后將表面吸咐的氦氣吹掉再放入檢漏夾具中抽空，待真空抽至設定值后自動將夾具連至儀器的測量系統。這時壓入存在漏孔器件內部的氦氣泄漏出來被檢測，其漏率在漏率表上顯示出來。
一般壓氦法檢漏時采用排除法。在夾具中放一定數量的器件，這一批的總漏率沒超過報廢預定值，說明這一批合格；總漏率超過報廢預定值可以取出一半，剩下的一半繼續檢漏，這一半合格說明有漏的器件在取出的那一半中，依此檢漏直至檢出有漏孔的器件。
背壓法-檢漏罐
加壓罐壓氦裝置：
加壓罐壓氦裝置的外部接通順序：寫出設備外部條件的接通先后順序，操作方法，具體的參數等。
1、把加壓罐、電阻真空計、真空泵、氦氣瓶按要求連接。
2、檢查加壓罐的密封圈是否有損害，加壓罐進出閥門是否關閉不了;真空泵是否有足夠的泵油，氣鎮閥旋鈕是否處在關閉的位置;氦氣瓶減壓閥是否漏氣現象。
3、確認所有應該注意的事項沒有問題之后可以接電源通電。
氦質譜檢漏儀背壓法檢漏檢漏過程的說明：
一、壓氦
1.將工件放入壓氦罐內，確認罐內清潔干凈。
2.待工件放置好后，將壓氦罐的蓋放置到壓氦罐上，用螺釘固定牢靠。
3.再將壓氦罐球閥接口與氦氣瓶連接。
4.確認連接OK后，先將壓氦罐的球閥打開，再開啟氦氣瓶的減壓閥，控制檢驗閥的出氣壓力，待壓氦罐上的壓力表指示到規定的壓力后，關閉壓氦罐的球閥，再關閉氦氣瓶的閥和減壓閥。
5.斷開氣瓶與壓氦罐的管路，（注意：管路內還有壓力）將壓氦罐放置到安全區域保壓規定時間。
6.保壓時間到后，將壓氦罐內地氦氣放至外界大氣中或使用氦氣袋回收。
二、清氦
7.將固定壓氦罐蓋的螺釘拆卸下來，再將罐蓋打開。
8.取出工件，使用空氣或氮氣將工件表面殘留的氦氣清除。
9.放置好工件待用。
三、檢漏
10.將檢漏罐裝配到檢漏儀的檢漏口，使用檢漏儀抽空，本底值最小。
11.“停止”檢漏儀，打開檢漏罐，將工件分批的放置到檢漏罐內。再“開始”檢漏儀。
12.檢漏儀按下“開始”后開始計時和觀察檢漏儀漏率值。
13.分別記錄檢漏儀開始后第10秒、第20秒、第30秒、第60秒的漏率值。
14.記錄結束后“停止”檢漏儀，取出工件。
15.再次重復第11-14項，檢測其它工件。
氦質譜檢漏儀——背壓法檢漏的注意事項
檢漏過程會有以下現象：
1.氦質譜檢漏儀只能檢測微漏的工件；大漏的工件，在清氦過程，壓入內部的氦氣就可能泄露出來，在氦檢時就檢測不到氦氣漏出。
2.工件清氦后，放置待檢時間不要超過1小時，防止壓入的氦氣漏出。
3.實驗測試時是單獨檢測工件；批量檢測時檢漏儀的本底值會成倍的大于單獨檢測的本底值。
4.批量檢測時，發現有漏件，可以逐漸減半的方式，找到具體的漏件。
5.每次檢測時，可以空檢檢漏罐并記錄相應的漏率值，做為檢測的對比參數。
最后提醒大家，無論采用哪種檢漏方法，都要求操作者有細心觀察能力和高度責任感，因為誤檢和漏檢將造成損失，另外操作者發現未知事物的警覺性和熟練程度也是很重要的。
安徽諾益科技生產的氦質譜檢漏儀憑借卓越的品質及穩定的性能已廣泛應用在眾多行業上，滿足各種應用. 可滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統或 PLC.
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