氦質譜檢漏儀需要在真空環境中進行,這就需要使用真空泵組,才能獲得檢漏儀所需要的真空環境。
真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為:利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。隨著真空應用的發展,真空泵的種類已發展了很多種,其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。極限壓力(極限真空)從粗真空到10-12Pa以上的極高真空范圍。
真空泵的分類
按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即變容真空泵和動量傳輸泵。
變容真空泵是利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣以達到抽氣目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮。
動量傳輸泵(分子真空泵)依靠高速旋轉的葉片或高速射流,把動量傳輸給氣體或氣體分子,使氣體連續不斷地從泵的入口傳輸到出口。(單獨段介紹)
變容真空泵又分為:往復式,旋轉式(旋片式、滑閥式、液環式、羅茨式、螺旋式、爪形轉子式),其它型式。
氦質譜檢漏儀之真空泵的規格及型號表示法
國產的各種機械真空泵的型號通常是用漢語拼音字母來表示。漢語拼音字母表示泵的類型;字母前的數字表示泵的級數,單級時“1”省略;字母后邊橫線后的數字表示泵的抽速(L/S) 。