氦質譜檢漏法是利用氦質譜檢漏儀的氦分壓測量原理，對被檢件的氦泄漏量進行測量。當被檢件密封面有漏孔時，表明漏氣的氦氣和其他氣體會從漏孔中排出。泄漏的氣體進入氦質譜檢漏儀后，由于氦質譜檢漏儀的選擇性識別能力，只給出氣體中的氦分壓信號值。在獲得氦信號值的基礎上，可以通過標準漏孔對比的方法獲得漏孔對氦的泄漏量。
根據泄漏檢測過程中指示的泄漏氣體儲存位置與被檢件的不同關系，可將氦質譜檢漏法分為真空法、正壓法、真空壓力法和背壓法，總結了這四種氦質譜檢漏法的檢測原理、優缺點和檢測標準。
1.真空質譜檢漏
真空氦質譜檢漏方法適用于那些行業？
真空法主要用于真空密封性能要求，但不帶壓力的產品，如空間活動部件、液氫罐車、環境模擬設備等。
當使用真空法檢測泄漏時，需要使用輔助真空泵或泄漏檢測器對被檢測產品的內部密封室進行真空，并使用氦蓋或噴霧法在被檢測產品的外表面施加氦。當被檢測產品表面有泄漏孔時，氦將通過泄漏孔進入被檢測產品，然后進入氦質譜檢漏儀，從而實現被檢測產品的泄漏測量。根據不同的漏氣方法，真空法可分為真空噴射法和真空氦蓋法。
真空噴射法：用噴槍將氦氣噴射到被檢產品外表面，可實現漏孔的精確定位；
真空氦罩法:用具有一定密封功能的氦罩覆蓋所有被檢產品，充滿一定濃度的氦，可測量被檢產品的總泄漏率。
真空法的優缺點
真空法的優點是檢測靈敏度高，能準確定位，能實現大容器或復雜結構產品的檢漏。
真空法的缺點是只能實現一個大match氣壓差的泄漏率檢測，不能準確反映被產品的真實泄漏狀態。
2.正壓法氦質譜檢漏
正壓氦質譜檢漏方法適用于那些行業？
正壓法主要用于高壓氦氣瓶、艙門檢漏儀等大容積高壓封閉容器產品的檢漏。
當采用正壓法檢測泄漏時，被檢查產品的內部密封室應充滿高于大氣壓的氦。當被檢查產品表面有漏孔時，氦將通過漏孔進入被檢查產品表面周圍的大氣環境，然后通過吸槍檢測被檢查產品周圍大氣環境中的氦濃度增加，從而實現被檢查產品的泄漏測量。根據收集氦的不同方法，正壓法可分為正壓吸槍法和正壓累積法。正壓吸槍法：用檢漏儀吸槍掃描探測被檢查產品外表面，實現漏孔的準確定位；
正壓積累方法：使用具有一定密封功能的氦罩覆蓋所有檢測產品，使用泄漏檢測器測量一定時間段前后氦罩內氦濃度的變化，實現檢測產品總泄漏率的準確測量。
正壓法的優缺點
正壓法的優點是真空系統不需要輔助，可以準確定位，在任何工作壓力下實現檢測。
正壓法的缺點是檢測靈敏度低，檢測結果不確定，受測量環境條件影響較大。
3.氦質譜檢漏真空壓力法
真空壓力法適用于那些行業？
真空壓力法主要用于結構簡單、壓力不是特別高的密封產品，如電磁閥、高壓充氣管、推進劑儲罐、天線、應答機、全星產品等。
真空壓力法泄漏檢測時，需要將被檢產品整體放入真空密封室。真空密封室與輔助排氣系統和檢漏儀連接。被檢測產品的充氣接口通過連接管導出真空密封室，然后與氦源連接。當被檢測產品表面有漏孔時，氦氣通過漏孔進入真空密封室，然后進入氦質譜檢漏儀，從而測量被檢測產品的總泄漏率。
真空壓力法的優缺點
真空壓力法的優點是檢測靈敏度高，可以實現任何工作壓力的泄漏率檢測，反映被檢測到的真實泄漏狀態。
真空壓力法的缺點是泄漏檢測系統復雜，真空密封室需要根據被檢測產品的體積和形狀進行設計。需要說明的是，在泄漏檢測過程中，需要確保充氣管接口無泄漏，或采用特殊的結構設計將所有充氣管接口放置在真空密封室外。
4.氦質譜檢漏背壓法
背壓法適用于那些行業？背壓法主要用于檢漏各種電子元器件。
采用背壓法進行泄漏檢測時，首先將被檢測產品放入高壓氦氣室中，浸泡數小時或數天。如果被檢測產品表面有漏孔，氦將通過漏孔壓入被檢測產品的內部密封腔，從而增加內部密封腔內的氦分壓。然后取出被檢測產品，將表面殘留的氦氣吹出，然后將被檢測產品放入與檢漏儀連接的真空容器中。被檢測產品密封腔內的氦氣將通過漏孔泄漏到真空容器，然后進入氦質譜檢漏儀，以測量被檢測產品的總泄漏率。檢漏儀給出的泄漏率值為測量泄漏率，需要通過轉換公式計算被檢測產品的等效標準泄漏率。
背壓法的優缺點
背壓法的優點是檢測靈敏度高，可實現小型密封容器產品的泄漏檢測，可批量檢測。
背壓法的缺點是大型密封容器不能泄漏，否則由于密封腔體積過大，加壓時間過長。此外，每個測量泄漏率對應兩個等效標準泄漏率。仔細檢查后，需要采用其他方法進行粗略檢查，以消除大泄漏的可能性。
關于“氦質譜檢漏儀的這幾種檢漏方法適用于那些行業？”的問題，就說到這里了，大家都了解了嗎，歡迎留言交流！
安徽諾益科技生產的氦質譜檢漏儀憑借卓越的品質及穩定的性能已廣泛應用在眾多行業上，滿足各種應用.
